特許
J-GLOBAL ID：200903037845236948
表面検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-107810
公開番号（公開出願番号）：特開平5-302897
出願日： 1992年04月27日
公開日（公表日）： 1993年11月16日
要約：
【要約】【目的】 欠陥を高い信頼性をもって適確かつ迅速に判定し得る表面検査装置を提供する。【構成】 検出器1で撮像した検査対象物5の表面の画像信号を特徴抽出回路2に供給して、欠陥6の特徴量を抽出し、この抽出された特徴量をディシジョンツリーロジック13に供給して欠陥の種類を判定するとともに、前記特徴量および判定した欠陥の種類をニューラルネット4に供給して欠陥の等級を判定する。
請求項（抜粋）：
検査対象物の表面を撮像する撮像手段と、該撮像手段で撮像した検査対象物の表面の画像信号から欠陥の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、この抽出された特徴量に基づいて欠陥の種類を判定する種類判定手段と、前記特徴量および前記種類判定手段が判定した欠陥の種類に基づいて欠陥の等級を判定する等級判定手段とを有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 21/89
, G06F 15/62 400
, G06F 15/70 330
