特許
J-GLOBAL ID：200903037859287430
自動外観検査装置の感度補正方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012755
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201046
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 被検査対象物の表面状態が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検出の感度を維持できる外観検査装置の感度補正方法を提供する。【構成】 本発明の自動外観検査装置の感度補正方法は、照明光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた対象物からの反射光の入光量を、予め設定された第1の基本入光量になるように照明光を制御して、被検査対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査において、上記反射光の入光量が照明光の制御により第1の基本入光量に制御できない際に、設定レベルの異なる第2の基本入光量になるように照明光を制御し、それに伴って検査の判断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行うことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
照明光を被検査対象物の表面に照射し、その反射光を撮像手段に取り込み、撮像手段で得られた対象物からの反射光の入光量を、予め設定された第1の基本入光量になるように照明光を制御して、被検査対象物の表面上の外観形状を検査する外観検査において、上記反射光の入光量が照明光の制御により第1の基本入光量に制御できない際に、設定レベルの異なる第2の基本入光量になるように照明光を制御し、それに伴って検査の判断に使用する設定値を変更して検出感度の補正を行うことを特徴とする自動外観検査装置の感度補正方法。
IPC (2件)：
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