特許

J-GLOBAL ID：200903037860825097

ウエーハ処理装置のウエーハ搬送方法

発明者： 藤丸 和代 ,  金澤 政男
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-161330
公開番号（公開出願番号）：特開平5-013546
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月22日
要約：

【要約】【目的】 処理室が真空排気を必要とするウエーハ処理装置のウエーハ搬送方法に関し、当該装置のスループットを向上させるようにする方法の提供を目的とする。【構成】 図1の実施例では、ウエーハキャリア2を載置するキャリアステージ3と、一端がウエーハステージ3上のウエーハキャリア2に対向し他端が処理室1に接続して単独の真空排気が可能であり、ウエーハキャリア2と処理室1との間のウエーハ搬送の中継を行う搬送中継室4を2個設け、ウエーハキャリア2から1枚のウエーハを1個の搬送中継室4に搬送し該搬送中継室を真空排気してから、該ウエーハを真空排気されている処理室1に搬送する工程を有し、その工程を2個の搬送中継室4の間で交互に行うように構成する。他の実施例では、ウエーハキャリアを収容して単独の真空排気が可能なキャリア室と単独の真空排気が可能な搬送中継室を設けて、搬送中継室に滞留させないウエーハ搬送を行う。

請求項（抜粋）：

処理室が真空排気を必要とするウエーハ処理装置のウエーハ搬送において、ウエーハキャリアを載置するキャリアステージと、一端が該ウエーハステージ上のウエーハキャリアに対向し他端が該処理室に接続して単独の真空排気が可能であり、該ウエーハキャリアと該処理室との間のウエーハ搬送の中継を行う搬送中継室を2個設け、該ウエーハキャリアから1枚のウエーハを1個の該搬送中継室に搬送し該搬送中継室を真空排気してから、該ウエーハを真空排気されている該処理室に搬送する工程を有し、該工程を2個の該搬送中継室の間で交互に行うことを特徴とするウエーハ処理装置のウエーハ搬送方法。