特許
J-GLOBAL ID：200903037876662899
表面異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-126136
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322781
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】マルチチャンバーを用いたプロセスにおいて、検査のスループットを落とすことなく、高精度な表面異物検査を行うための、表面異物検査装置におけるバッファチャンバーおよびロードロックチャンバーを提供する。【構成】異物検査すべき被検査物を収容するための真空チャンバー1と、上記被検査物上の異物によって乱反射したレーザ光線を検出するための検出器と、上記被検査物を処理するための複数のチャンバーを結合するための搬送用チャンバー20を有する表面異物検査装置であって、上記被検査物を収容するための真空チャンバー1と上記搬送用チャンバー20との間にバッファチャンバー2を設け、上記バッファチャンバー2が、第1側壁3cに設けられた第1開口部3aと、上記被検査物を載置するための保持台5と、上記保持台5に載置された被検査物を上記真空チャンバー1へ搬出するため、第2側壁4cに設けられた第2開口部4aとを有する。
請求項（抜粋）：
異物検査すべき被検査物を収容するための真空チャンバーと、前記被検査物上の異物によって乱反射したレーザ光線を検出するための検出器と、前記被検査物を処理するための複数のチャンバーを結合するための搬送用チャンバーを有する表面異物検査装置であって、前記被検査物を収容するための真空チャンバーと前記搬送用チャンバーとの間にバッファチャンバーを設け、前記バッファチャンバーが、前記搬送用チャンバー内の被検査物を搬入させるための第1開口部と、前記被検査物を載置するための保持台と、前記保持台に載置された被検査物を前記真空チャンバーへ搬出させるための第2開口部とを有してなることを特徴とする表面異物検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G01N 15/14
, H01L 21/66
