特許
J-GLOBAL ID：200903037882684039
フオトマスク用高耐熱性石英ガラス基板
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-327152
公開番号（公開出願番号）：特開平5-139778
出願日： 1991年11月15日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】耐熱性、光学的特性に優れたフォトマスク用石英ガラス基板。【構成】アルミニウム含有量が5〜40ppm、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1180°C以上であることを特徴とするフォトマスク用石英ガラス基板。
請求項（抜粋）：
アルミニウム含有量が5〜40ppm、ハロゲン含有量が10ppm以下、OH含有量が100ppm以下、重金属およびアルカリの含有量の総計が1ppm以下であって、徐冷点が1180°C以上であることを特徴とするフォトマスク用石英ガラス基板。
IPC (2件)：
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