特許
J-GLOBAL ID：200903037885260728
素子冷却試験装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044128
公開番号（公開出願番号）：特開平5-245395
出願日： 1992年02月29日
公開日（公表日）： 1993年09月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、マニピユレータにより試料を正確に検出できるようにすることを目的とする。【構成】 極低温冷凍機の可動部により試料ステージが振動を受けるため、試料ステージとの相対運動量が0であるシリンダ上にマニピユレータを配設し、マニピユレータと試料との間の相対運動量を0にした。
請求項（抜粋）：
真空容器と、該真空容器内に配設される極低温冷凍機のコールドヘツド及びシリンダと、該コールドヘツド上に配設される試料ステージと、前記シリンダ外周上に移動可能に配設され、前記試料ステージ上の試料を操作できるマニピユレータとから成る素子冷却試験装置。
IPC (2件)：
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