光偏向器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 中村誠 , 蔵田昌俊 , 峰隆司 , 福原淑弘 , 村松貞男 , 橋本良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-299203
公開番号（公開出願番号）：特開2005-165276
出願日： 2004年10月13日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】外側可動板を正確に駆動できる電磁駆動型の二次元光偏向器を提供する。【解決手段】二次元光偏向器のスキャナ基板110は、枠状のフレーム114と、枠状の外側可動板113と、内側可動板112と、フレーム114と外側可動板113を接続している外側トーションバー120aと120bと、外側可動板113と内側可動板112を接続している内側トーションバー121aと121bを有している。スキャナ基板110は、さらに、外側可動板113上に設けられた外側駆動コイル135と、外側駆動コイル135から延びている外側駆動コイル用配線131と、内側可動板112上に設けられた内側駆動コイル136と、内側駆動コイル136から延びている内側駆動コイル用配線133を有している。内側駆動コイル用配線133は、外側可動板駆動用の永久磁石104aと104bにより発生される磁界を避けて、外側可動板113上を延びている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

電磁駆動型の二次元光偏向器であり、支持体と、支持体の内側に位置する枠状の外側可動板と、支持体と外側可動板を接続している二本の外側トーションバー(第一外側トーションバーと第二外側トーションバー)と、外側可動板の内側に位置する内側可動板と、外側可動板と内側可動板を接続している二本の内側トーションバー(第一内側トーションバーと第二内側トーションバー)とを有しており、内側可動板は反射面を有し、二本の外側トーションバーは第一軸に沿って形成されており、二本の内側トーションバーは第二軸に沿って形成されており、第一軸と第二軸は略直交しており、外側トーションバーは、第一軸の周りにねじり変形可能で、外側可動板が支持体に対して第一軸の周りに揺動することを可能にし、内側トーションバーは、第二軸の周りにねじり変形可能で、内側可動板が外側可動板に対して第二軸の周りに揺動することを可能にし、これにより内側可動板の反射面の向きは二次元的に変更可能であり、さらに光偏向器は、外側可動板上に設けられた外側駆動コイルと、第二軸に略平行で外側可動板を横切る磁界を発生させる外側可動板駆動用磁界発生器と、内側可動板上に設けられた内側駆動コイルと、第一軸に略平行で内側可動板を横切る磁界を発生させる内側可動板駆動用磁界発生器と、外側駆動コイルと電気的に接続されている外側駆動コイル用配線と、内側駆動コイルと電気的に接続されている内側駆動コイル用配線とを有しており、内側駆動コイル用配線は、外側可動板駆動用磁界発生器により発生される磁界を避けて、外側可動板上を延びている、光偏向器。

IPC (2件)：

G02B26/10 , B41J2/44

FI (2件)：

G02B26/10 104Z , B41J3/00 D

Fターム (4件)：

2C362BA17 , 2C362BA18 , 2H045AB06 , 2H045AB13

引用特許：

出願人引用 (1件)

光偏向器
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-190501 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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