特許

J-GLOBAL ID：200903037892596286

液晶表示装置の製法

発明者： 久米 聡
出願人/特許権者： 株式会社アドバンスト・ディスプレイ
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302692
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146079
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】 液晶表示装置製造工程におけるエッチング、洗浄などのウェット処理後にガラス基板を回転させて振切り乾燥する際に生じる帯電を容易、かつ確実に防止することができる液晶表示装置の製法を提供する。【解決手段】 ウェット処理後のガラス基板をスピン乾燥するばあい、?@ガラス基板を350rpm/sec未満の比較的低加速度で加速しながら高速回転に移行する、および/または?A高速回転に移行する前にガラス基板1を10〜30秒間静止させて基板上の水を雰囲気中に暴露させる。

請求項（抜粋）：

ウェット処理後のガラス基板をスピン乾燥する工程を有する液晶表示装置の製法であって、(a)前記ガラス基板を50〜100rpmで低速回転させながらガラス基板表面に水を噴射することにより、ガラス基板表面を洗浄し、(b)前記ガラス基板を350rpm/sec未満の加速度で加速しながら高速回転に移行し、ガラス基板表面の水を振り切ることを特徴とする液晶表示装置の製法。

IPC (4件)：

G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 351 ,  H05F 1/00

FI (4件)：

G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/304 351 S ,  H05F 1/00 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭63-015710
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-015710
  
• 特開昭63-015710