特許
J-GLOBAL ID：200903037896284882
三次元形状の非接触測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小橋 信淳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282107
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122834
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 被測定物2の三次元形状の測定作業を、容易且つ短時間に行う。【解決手段】 強度変調され位相の異なる複数の縞パターンに、それぞれ波長の異なる光を通すことにより、複数の位相の異なる縞パターン投影光を発生させる。そして、これら縞パターン投影光の位置関係を保持したまま、これら縞パターン投影光を合成することにより平行光とし、この平行光を上記被測定物2へ投影する。これにより上記被測定物2上に生じた縞パターン反射像を、波長ごとに光学的或いは電気的に分解して独立した縞パターンを得る。これら独立した縞パターンに基づいて被測定物2の三次元形状を測定する。
請求項（抜粋）：
被測定物の三次元形状を非接触で測定する、三次元形状の非接触測定方法であって、強度変調され位相の異なる複数の縞パターンに、それぞれ波長の異なる光を通すことにより、複数の位相の異なる縞パターン投影光を発生させ、これら縞パターン投影光の位置関係を保持したまま、これら縞パターン投影光を合成することにより平行光とし、この平行光を上記被測定物へ投影することにより上記被測定物上に生じた縞パターン反射像を、波長ごとに光学的或いは電気的に分解して独立した縞パターンを得、これら独立した縞パターンに基づいて被測定物の三次元形状を測定する、三次元形状の非接触測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 E
, G06F 15/62 415
