特許

J-GLOBAL ID：200903037903608427

三次元形状測定装置

発明者： 窪寺 謙之
出願人/特許権者： 株式会社クボテック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-138856
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317410
出願日： 1993年04月30日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】 被測定物の三次元形状を高速で、非接触で測定する。【構成】 レーザー発光器から発射されたレーザー光を直交する2つの軸のそれぞれを中心として回転する2ケの多面体ミラーで反射し被測定物に照射スキャニングし、その各多面体ミラーの回転角を検出する手段を備え、被測定物から反射して返って来る光をレンズ系を通して感光素子に受光し、その感光素子の受光位置から、被測定物のレザー照射点の三次元位置を算出し、これら三次元位置データから被測定物の三次元形状を測定する装置。

請求項（抜粋）：

レーザー発光器から発射されたレーザー光を直交する2つの軸のそれぞれを中心として回転する2ケの多面体ミラーで反射し被測定物に照射スキャニングし、その各多面体ミラーの回転角を検出する手段を備え、被測定物から反射して返って来る光をレンズ系を通して感光素子に受光し、その感光素子の受光位置から、被測定物のレーザー照射点の三次元位置を算出し、これら三次元位置データから被測定物の三次元形状を測定する装置。