特許

J-GLOBAL ID：200903037905690350

金属酸化物系の透明導電膜の製造方法

発明者： 富田 成明 ,  多賀 直昭
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-121414
公開番号（公開出願番号）：特開平8-319138
出願日： 1995年05月19日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】従来よりも低い比抵抗(10-4Ω・cm台以下)を有し、また、良好な結晶性を有する透明導電膜を安定的に製造することが可能な金属酸化物系の透明導電膜の製造方法を提供すること。【構成】透明基体上に成膜された金属酸化物系の透明導電膜に、該透明導電膜を貫通し、該透明基体に侵入する程度の高加速電圧で、イオン注入を行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透明基体上に成膜された金属酸化物系の透明導電膜に、該透明導電膜を貫通し、該透明基体に侵入する程度の高加速電圧で、イオン注入を行うことを特徴とする金属酸化物系の透明導電膜の製造方法。

IPC (5件)：

C03C 21/00 ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/48 ,  H01B 13/00 503

FI (5件)：

C03C 21/00 Z ,  C03C 17/23 ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/48 Z ,  H01B 13/00 503 B