多層体および多層体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西脇民雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-554498
公開番号（公開出願番号）：特表2008-530601
出願日： 2006年02月09日
公開日（公表日）： 2008年08月07日
要約：

部分的に形成された第1の層(3m)が多層体(100)の製造方法および、その製造方法によって製造された多層体(100)が記載されている。その製造方法では、回折性を示す第1の凹凸構造部(4)が前記多層体の複製層(3)の第1の領域の中に形成され、複製層(3)の中で凹凸構造部が形成されていない第1の領域および第2の領域中の複製層(3)に、第1の層(3m)を付与し、感光層を第1の層(3m)に付与するか、または、第1の層(3m)に複製層として感光性の洗浄マスクを付与し、前記感光層または前記洗浄マスクを第1の層(3m)を通して露光するので、前記感光層または前記洗浄マスクは、第1および第2の領域中の第1の凹凸構造部により異なる露光がなされ、第1の層(3m)が、第2の領域中には無いが第1の領域中にはあるか、あるいは、第1の領域中には無いが第2の領域中にあるマスク層としての前記露光された感光層または洗浄マスクを使って取り除かれる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

回折性を示す第1の凹凸構造部(4)が前記多層体の複製層(3)の第1の領域の中に形成され、複製層(3)の中で凹凸構造部(4)が形成されていない第1の領域および第2の領域中の複製層(3)に、複製層(3)によって画定された平面に一定の面密度で第1の層(3m)を付与し、感光層(8)を第1の層(3m)に付与するか、または、第1の層(3m)に複製層として感光性の洗浄マスクを付与し、前記感光層または前記洗浄マスク(8)を第1の層(3m)を通して露光するように、前記感光層または前記洗浄マスク(8)は、第1および第2の領域中の第1の凹凸構造部により異なる露光がなされ、第1の層(3m)が、第2の領域中には無いが第1の領域中にはあるか、あるいは、第1の領域中には無いが第2の領域中にあるマスク層として前記露光された感光層または洗浄マスク(8)を使って取り除かれることを特徴とする、部分的に形成された第1の層(3m)を有する多層体(100,100’)の製造方法。

IPC (5件)：

G03F 7/20 , B32B 37/00 , G02B 5/18 , G03F 7/11 , G03F 7/40

FI (5件)：

G03F7/20 501 , B32B31/18 , G02B5/18 , G03F7/11 503 , G03F7/40 521

Fターム (75件)：

2H025AB14 , 2H025AB20 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025DA30 , 2H025FA39 , 2H049AA03 , 2H049AA07 , 2H049AA13 , 2H049AA37 , 2H049AA43 , 2H049AA46 , 2H049AA55 , 2H049AA60 , 2H049AA65 , 2H096AA28 , 2H096AA30 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096CA05 , 2H096HA13 , 2H096HA30 , 2H096JA04 , 2H096LA01 , 2H097AA03 , 2H097FA02 , 2H097FA03 , 2H097JA03 , 2H097JA04 , 2H097LA16 , 2H097LA17 , 4F100AA11B , 4F100AA11D , 4F100AA21B , 4F100AA21D , 4F100AB01B , 4F100AB10 , 4F100AB17 , 4F100AB31B , 4F100AK01B , 4F100AK01C , 4F100AK01D , 4F100AR00C , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100DC15B , 4F100DC21B , 4F100DC21D , 4F100DD04A , 4F100EH66B , 4F100EJ15B , 4F100EJ52C , 4F100EJ53C , 4F100GB41 , 4F100GB71 , 4F100HB08A , 4F100HB08B , 4F100JA11B , 4F100JA11D , 4F100JB14 , 4F100JG01 , 4F100JL10B , 4F100JL10D , 4F100JM02B , 4F100JM02D , 4F100JN01B , 4F100JN06B , 4F100JN17A , 4F100JN17C , 4F100JN18B , 4F100JN18D , 4F100YY00B

引用特許：

出願人引用 (2件)

GB 2 136 352 A
E 0 537 439 B2

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