特許
J-GLOBAL ID：200903037908011860
動的力を補償する遠心グリッパ機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 清
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-530911
公開番号（公開出願番号）：特表2003-511874
出願日： 2000年10月06日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：
【要約】ウェーハ取扱い機において使用するための力補償装置を提供する。ウェーハ取扱い機は、ウェーハ(10)と同心に適用されウェーハの外部にある回転可能な縁(40)と、縁の周りに配置された複数のウェーハ支持フィンガ(14a,14b,14c)とを含む。各フィンガは、支持機構(20)の構成部品であるフローティングアーム(26)をブラケット支持して支持体を縁に取り付ける第1および第2の固定アーム(22,24)を利用して、フローティングアームにより支持される。各フィンガは、縁をもつ放射状平面に概して配置される。力補償装置(80)は、それぞれの固定アーム(22,24)上にある支点機構(50)と、フローティングアームから離れる方向に支点から突出するロッド上(92)に懸架された第1の力受入体(94)と、半径方向に支点から突出するロッド(96)上に懸架された第2の力受入体(98)と、フローティングアームに向かう方向に支点から突出するロッド上(102)に懸架された力伝達体(100)とを具備する。支点と、第1の力受入体と、力伝達体が釣り合いを形成して、力伝達デバイスをフローティングアームと接触させる。第2の力受入体と力伝達体は、剛体の三角形を形成する。この釣り合いによりフローティングアームへ力が伝達され、フローティングアームへの遠心力の釣り合いを保ち、フィンガにかかる加速力と減速力の釣り合いを保つ。
請求項（抜粋）：
ウェーハと同心に適用されウェーハの外部にある回転可能な縁と、前記回転可能な縁の周りに配置された複数のウェーハ支持フィンガとを含み、支持機構の構成部品であるフローティングアームをブラケット支持する双対する固定アームを利用して、前記フィンガのそれぞれが前記フローティングアームにより支持され、前記支持機構が、前記固定アームにより前記縁に取り付けられ、前記フィンガのそれぞれが、前記ウェーハを複数のフィンガの間で支持するのに十分な力で予荷重をかけられ、前記フィンガのそれぞれが、前記縁をもつ放射状平面に概して配置されるウェーハ取扱い機において使用するための力補償装置であって、 固定アーム上に配置される支点機構と、 前記フローティングアームから離れる方向に前記支点から突出する第1のロッド上に懸架された力受入体と、 前記フローティングアームに向かう方向に前記支点から突出する第2のロッド上に懸架された力伝達体とを具備し、 前記支点と、力受入体と、力伝送体が釣り合いを形成して、前記ロッドを前記固定アームと前記フローティングアームに本質的に平行な状態にして、前記力伝送デバイスを前記フローティングアームと接触させることを特徴とする力補償装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/66 Z
4M106AA01
, 4M106BA20
, 4M106DD30
, 5F031CA02
, 5F031HA24
, 5F031HA27
, 5F031HA30
, 5F031MA33
