特許

J-GLOBAL ID：200903037917876106

圧電振動子及びその製造方法

発明者： 新宅 秀信 ,  鈴木 茂夫 ,  川崎 修 ,  福島 寛 ,  多鹿 博文
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036963
公開番号（公開出願番号）：特開平7-249956
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 特性の優れその安定性も高い圧電振動子を従来より安価に実現する。【構成】 圧電基板1を、その突起部3を保持基板5の外部電極4に圧接することにより、保持基板5の間に挟持するに際し、突起部3を所定位置に形成するためのパターニングのレジストマスク8を残した状態で、突起3を外部電極4に圧接する。レジスト膜8は、その後に除去する。【効果】 突起部3を外部電極4に圧接する際、レジストマスクの存在によって、圧電基板1が傾くのが防止され、圧電振動子の特性の安定性を向上できる。

請求項（抜粋）：

駆動用の電極を対抗する表面に設けられた圧電基板のノード点近傍に所要のパターン開口部を有するレジスト皮膜を、駆動用電極が設けられた少なくとも片方の表面に形成し、その後、前記開口部に導電性材料を所要の厚さまで溶射し突起部を形成し、さらに前記突起部を介し前記圧電基板を外部電極を有する基板により挟み込んで保持した後、前記レジストを除去することを特徴とする圧電振動子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 9/05 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特公昭59-006482
  
• 特開平2-274114
  
• 特開平1-176107