特許

J-GLOBAL ID：200903037918478112

ダイシング装置

発明者： 新井 裕介 ,  今井 忍
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-060037
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242726
出願日： 2006年03月06日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】 ループットを低下させない効率的なダイシング装置を提供すること。【解決手段】 加工部20と撮像手段10との間に位置する、第1の遮蔽板としての遮蔽板71と、遮蔽板71が移動する移動軸と同じ軸線上で遮蔽板71と対向して設けられた第2の遮蔽板としての遮蔽板73を備えたことにより、加工部20からの撮像手段10の遮蔽を短時間で確実に行い、スループットを低下させない効率的なダイシングが可能となる。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ワークを加工する加工部と、 前記ワークの表面を撮像する撮像手段と、 前記加工部と前記撮像手段との間に位置し、前記加工部より前記撮像手段を遮蔽する位置と前記加工部を開放する位置との間を進退可能に設けられ、前記加工部で発生する切削水によるミスト、または飛沫が該撮像手段側へ流入することを防止する第1の遮蔽板と、 前記第1の遮蔽板が移動する移動軸と同じ軸線上で該第1の遮蔽板と対向し、前記加工部より前記撮像手段を遮蔽する位置と前記加工部を開放する位置との間を進退可能に設けられた第2の遮蔽板とを備えたことを特徴とするダイシング装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 F

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ダイシングマシン
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-131714   出願人：株式会社東京精密