特許
J-GLOBAL ID：200903037918768773
スキャナシステム及びこのスキャナシステムの制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018124
公開番号（公開出願番号）：特開平8-210809
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】測定範囲全域に亘って高感度にスキャナ変位を検出することが可能なスキャナシステムを提供する。【構成】測定試料が載置可能なステージ1を所定方向に移動させるチューブ型圧電体スキャナ(スキャナ)3と、レーザー光源11と、このレーザー光源からの光を平行光束に変換するコリメータレンズ10と、この平行光束を所定角度だけ変向させるレーザー光変向器9と、所定角度だけ変向した平行光束が照射された反射鏡2から反射した反射光を4分割フォトディテクタ(4PD)8上に集光させる集光レンズ7と、ステージを所定方向に一定間隔で移動させるように、4PD上に集光した反射光のスポット位置に基づいて、スキャナを駆動制御する制御回路14とを備える。
請求項（抜粋）：
測定試料が載置可能なステージを所定方向に移動させるスキャナと、前記ステージに設けられた反射鏡に平行光束を照射する光源手段と、この光源手段と前記反射鏡との間の光路中に配置され、前記光源手段から出射された前記平行光束を所定角度だけ変向させる変向手段と、所定角度だけ変向した前記平行光束が照射された前記反射鏡から反射した反射光を光検出器上に集光させる集光手段と、前記ステージを所定方向に一定間隔で移動させるように、前記光検出器上に集光した前記反射光のスポット位置に基づいて、前記スキャナを駆動制御する制御回路とを備えていることを特徴とするスキャナシステム。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G01B 21/30
, G01N 37/00
, H01J 37/28
