特許

J-GLOBAL ID：200903037920566274

半導体製造設備の稼働制御方法

発明者： 山口 智裕 ,  兵頭 正員
出願人/特許権者： 株式会社ルネサステクノロジ
代理人 (4件)： 村上 啓吾 ,  大岩 増雄 ,  児玉 俊英 ,  竹中 岑生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-117984
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327575
出願日： 2003年04月23日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：

【課題】ロードポートを効率的に運用できるように選択し、また、歩留まりの向上を図ることができる半導体製造設備の稼働制御方法を提供する。【解決手段】半導体製造設備1を構成する各装置3,4に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアxを受け渡しをするロードポート9,15,16が複数設けられている場合において、ロードポート9,15,16毎に優先順位を予め設定し、その優先順位に従ってロードポート9,15,16を選択し、その選択したロードポート9,15,16を介して装置3,4に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体製造設備を構成する各装置に付随して半導体ウェハが収納されたキャリアを受け渡しするロードポートが複数設けられている場合において、上記ロードポート毎に優先順位を予め設定し、その優先順位に従ってロードポートを選択し、その選択したロードポートを介して上記装置に対する半導体ウェハの投入操作や払出操作を実行することを特徴とする半導体製造設備の稼働制御方法。

IPC (5件)：

H01L21/68 ,  B65G1/00 ,  B65G1/137 ,  B65G49/07 ,  H01L21/02

FI (5件)：

H01L21/68 A ,  B65G1/00 535 ,  B65G1/137 A ,  B65G49/07 L ,  H01L21/02 Z

Fターム (16件)：

3F022AA08 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022LL12 ,  3F022MM15 ,  3F022MM35 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA58 ,  5F031MA06 ,  5F031PA02