特許

J-GLOBAL ID：200903037922694954

原子吸光方式蒸着速度センサ

発明者： 藤井 悦司 ,  早川 博敏 ,  加来 久幸
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-135769
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172977
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【目的】 感度調整管を用いずに原子吸光方式の蒸着速度センサの感度を最適に調整でき、受光部のノイズを軽減する小形蒸着速度センサを提供する。【構成】 任意の円に外接する正n角形(n≧5)の辺の一部分を成すように配置された少なくとも1個以上の反射面と、前記円に内接する正n角形の1つの頂点に設置された光源1と、内接正n角形の光源以外の頂点に設置された受光部8と、入射角変更手段19と、受光角変更手段21と、吸収部9の下部に設置された同心状の原子蒸気の絞り手段20を有する。受光部の試料光束用PMT5を、定温容器内27に保持し、光ファイバ8により真空槽内の吸収部に導入している。

請求項（抜粋）：

原子固有の波長の光を発生させる光源と、光源からの対照光束を受光しその光量を電気信号に変換する受光部と、光源からの試料光束が被測定物である原子蒸気により吸収される吸収部と、吸収部を通過した試料光束を受光しその光量を電気信号に変換する受光部を持ち、1個所あるいは複数の反射面を用いる光路が設けられている原子吸光方式の蒸着速度センサにおいて、任意の円に外接する正n角形(n≧5)の辺の一部分を成すように配置された少なくとも1個以上の反射面と、前記円に内接する正n角形の1つの頂点に設置された光源と、前記内接正n角形の光源以外の頂点に設置された受光部と、光源の放射方向を変更する入射角変更手段と、入射光束に平行な向きに方向を変更する受光角変更手段と、吸収部の下部に設置された同心円または多角形状の原子蒸気の絞り手段を有することを特徴とする原子吸光方式蒸着速度センサ。

IPC (2件)：

C23C 14/24 ,  G01N 21/31