化学線重合性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-233597
公開番号（公開出願番号）：特開平6-083063
出願日： 1992年09月01日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：

【要約】【構成】本発明は、一般式[I]で表されるシラン化合物を含むことを特徴とする化学線重合性組成物である。【化1】【効果】本発明によれば、フォトリソグラフィーの手法でパターン加工可能な感光性を有し、紫外線透過性および耐熱性の優れた化学線重合性組成物を得ることができる。

請求項（抜粋）：

(a)一般式[I]で表されるシラン化合物(A)を30〜100モル%含むシラン化合物、【化1】(ただし、R1 は、メトキシ基および/またはニトロ基で1〜4個置換したベンジル基、R2 はC1〜C6の1価の炭化水素基、2-メトキシ-エチル基、2-エトキシ-エチル基、2-メトキシ-プロピル基、2-エトキシ-プロピル基、フェニル基、またはナフチル基、R3 はC1〜C12の1価の炭化水素基、フェニル基、ナフチル基、ビニル基、グリシジル基、グリシドキシプロピル基、またはエポキシシクロヘキシルエチル基、mは1〜4の整数、nは0〜3の整数、pは0〜3の整数、m+n+p=4)(b)該シラン化合物中のアルコキシ基の全量に対して0.2〜4倍モル量の水、(c)該シラン化合物に対して0.1〜10重量倍の有機溶剤、(d)該シラン化合物に対して0.01〜10モル%の酸あるいは塩基、を含むことを特徴とする化学線重合性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/075 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/038 505 , H01L 21/027 , H01L 21/312

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