特許
J-GLOBAL ID：200903037937770452
エリプソメトリー顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
桑原 英明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-528613
公開番号（公開出願番号）：特表平10-501072
出願日： 1996年03月20日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】エリプソメトリー顕微鏡10は、全般的に、単色の平行光の光線を放射する光源(14)、反射経路(60)に沿って試料から外へ反射するように、予め定めた角度で膜試料(58)上に衝突させるため、入射経路(56)に沿って光線を導く調節可能な支持組立体(12)、及び反射光線を検出するための検出器(34)を包含する。入射光線を楕円偏光させるため、偏光子(20)が入射経路(56)に沿って配置され、また、入射光線の楕円偏光を変更させるため、遠隔制御型可変リターダ(22)も入射経路(56)に沿って配置される。光線を拡張し、且つ反射光線のうち平行成分だけを通すことができるよう、膜試料(58)と検出器(34)間の反射経路(60)に沿って光線拡張子(30)を配置する。反射光線を解析する検光子(36)を検出器(34)に連結して膜試料(58)の厚さを決定する。
請求項（抜粋）：
薄膜試料の厚さを測定するための装置において、 単色の平行光の入射光線を放射する光源装置と; 予め決めた角度で膜試料に衝突するよう入射経路に沿って前記入射光線を誘導し、そこで複数の成分を含む反射光線が反射経路に沿って膜試料から反射するようにする装置と; 前記入射光線を楕円偏光させる偏光装置と; 前記入射光線の楕円偏光を変える装置と; 前記反射光線を検出するための検出装置と; 膜試料の厚さを決めるために前記反射光線を解析するための前記検出装置と結合させた解析装置と; 膜試料と前記検出装置間の前記反射経路にあって、前記反射光線を拡張し、且つ相互に関して平行である前記反射光線の前記成分の通過を許容する光線拡張装置とを含んで成る装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 4/04 A
, G01B 11/06 Z
