特許

J-GLOBAL ID：200903037940732340

フッ素樹脂薄膜の製造方法

発明者： 関本 謙一 ,  田中 剛
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-221016
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068576
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：

【要約】【目的】 空気中で剥離する際にキズ、のび、切れ等の発生なく、帯電による異物の付着がないフッ素樹脂薄膜が得られ、さらに洗浄、研磨等の処理なしに基材の再使用が可能なフッ素樹脂薄膜の製造方法を提供する。【構成】 40〜95%の湿度下で保存したガラス基材上にフッ素樹脂薄膜を形成し、乾燥後、再び40〜95%の湿度下で保存した後、剥離するフッ素樹脂薄膜の製造方法。

請求項（抜粋）：

40〜95%の湿度下で保存したガラス基材上にフッ素樹脂薄膜を形成し、乾燥後、再び40〜95%の湿度下で保存した後、剥離することを特徴とするフッ素樹脂薄膜の製造方法。

IPC (6件)：

B29C 41/12 ,  B29C 41/46 ,  G03F 1/14 ,  C08J 5/18 CEW ,  B29K 27:12 ,  B29L 7:00