特許
J-GLOBAL ID：200903037944836914
静圧軸受およびこれを用いた位置決めステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-186580
公開番号（公開出願番号）：特開平8-028564
出願日： 1994年07月15日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 耐振性にすぐれた静圧軸受。【構成】 保持盤2は4個の底面静圧軸受パッド2bによって支持台1に非接触で支持される。各底面静圧軸受パッド2bは、溝22aによって4個の方形部位22b〜22eに分割され、そのうちの2個の方形部位22c,22dの表面には塗膜による目づまり処理が施されており、自成絞り型またはオリフィス絞り型の静圧軸受として機能する。多孔質絞り型と目づまり処理による自成絞り型やオリフィス絞り型を組み合わせた高剛性でしかも高減衰性を有する静圧軸受を実現する。
請求項（抜粋）：
一対の対向面の間に気体を噴出する多孔質体を有し、該多孔質体が分断手段によって複数の部位に分断され、該複数の部位のうちの少なくとも1つにその気孔を目づまりさせる目づまり処理を施されていることを特徴とする静圧軸受。
IPC (3件)：
F16C 32/06
, H01L 21/027
, H01L 21/68
