特許

J-GLOBAL ID：200903037948466798

透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法

発明者： 太田 裕樹 ,  吉岡 啓一 ,  多田 千代子
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-106647
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281954
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 被観察試料の最表面近傍の断面組織観察を可能とする透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法の提供。【解決手段】 集束イオンビーム加工装置を用いた透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、集束イオンビーム加工に先立ち、予め、試料表面に、好ましくは樹脂皮膜である皮膜を形成する透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法。

請求項（抜粋）：

集束イオンビーム加工装置を用いた透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、集束イオンビーム加工に先立ち、予め、試料表面に皮膜を形成することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用試料の作製方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/31

FI (4件)：

G01N 1/28 G ,  G01N 1/32 B ,  H01J 37/31 ,  G01N 1/28 N