特許

J-GLOBAL ID：200903037953531468

液滴吐出方法、液滴吐出システム、膜パターン形成方法、デバイス及びデバイス製造方法、電気光学装置、並びに電子機器

発明者： 森山 英和
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-139196
公開番号（公開出願番号）：特開2004-342919
出願日： 2003年05月16日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】吐出条件の決定に伴う吐出ヘッドの稼働率の低下を抑制し、処理能力の向上を図ることができる液滴吐出方法を提供する。【解決手段】液滴吐出システムIJSは、液体材料を吐出する吐出ヘッド1を備える。また、液体材料の液滴に関する情報を、吐出ヘッド1と同じ特性を有する試験用吐出ヘッド26を用いて測定し、その測定結果に基づいて、液体材料に対する吐出ヘッド1の吐出条件を定める。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

吐出ヘッドから液体材料を液滴状に吐出する液滴吐出方法において、 前記液体材料を吐出した際の前記液体材料の液滴に関する情報を、前記吐出ヘッドと同じ特性を有する試験用吐出ヘッドを用いて測定し、該測定結果に基づいて、前記液体材料に対する前記吐出ヘッドの吐出条件を定めることを特徴とする液滴吐出方法。

IPC (6件)：

H01L21/027 ,  B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205

FI (7件)：

H01L21/30 502D ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 Z ,  H01L21/288 Z ,  H01L21/30 564Z ,  H01L21/88 B

Fターム (49件)：

4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC91 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075CA22 ,  4D075CB08 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA10 ,  4D075EC10 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042BA02 ,  4F042BA04 ,  4F042BA21 ,  4F042DH09 ,  4M104AA09 ,  4M104BB04 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104DD51 ,  4M104DD79 ,  4M104DD80 ,  4M104DD81 ,  5F033HH07 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH40 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ83 ,  5F033VV15 ,  5F046AA28 ,  5F046JA01 ,  5F046JA02 ,  5F046JA22