特許
J-GLOBAL ID：200903037953714422
自動液管理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-131458
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129198
出願日： 1991年06月03日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 レジスト剥離液の有効成分を正確に測定することができる自動液管理装置の提供を目的とする。【構成】 検出手段54の前段に、サンプリング手段51によりサンプリングされたレジスト剥離液を加熱するための加熱手段53を設け、この加熱手段53により、該レジスト剥離液の温度を、有効成分の安定した測定ができる例えば65°C以上の領域にまで上昇させ、これによって有効成分を測定する際の不安定要素とされる、中間物質の生成を防止した。
請求項（抜粋）：
処理液をサンプリングするサンプリング手段と、サンプリングされた処理液の有効成分の量を検出する検出手段とを有し、検出手段からの検出データに基づき処理液の有効成分濃度を演算するようにした自動液管理装置において、前記検出手段の前段には、前記サンプリング手段によりサンプリングされた処理液を加熱するための加熱手段が設けられていることを特徴とする自動液管理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B01L 11/00
, G03F 7/30 501
, G05D 11/13
