インクジェットヘッドの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223775
公開番号（公開出願番号）：特開平9-066606
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】ノズルの孔明け加工後に撥油性等の被膜を形成することに伴なう欠点を解消し、低コストかつ簡単な工程で、小径のノズルの径を維持したまま均一にコーティング処理を行う。【解決手段】ノズルプレート3を製造するに際して、合成樹脂製フィルム31の片面に撥水性または撥油性を有する被膜32をコーティングした後で、3段階のレーザ照射によって、非コーティング面から上記コーティング面に向かって先細となるように穿孔することによりノズル33を形成する。被膜32はインジウム・ティン・オキサイド等の金属酸化物系セラミックスからなり、撥水性及び撥油性が共に備わる。被膜形成後にノズルを穿孔するので、正確なノズル径に形成できる。このノズルプレートを流路基板前面に接合し、インク流路とノズル33とを連通させる。

請求項（抜粋）：

複数のインク流路が形成してある流路基板と、上記流路基板の前面に接合されかつ上記各インク流路の前面開口に対向するノズルが形成してあるノズルプレートとを有するインクジェットヘッドの製造方法において、合成樹脂製フィルムの片面に撥水性または撥油性を有する被膜をコーティングした後、レーザ照射によって非コーティング面から上記コーティング面に向かって先細となるように穿孔することにより上記ノズルを形成する工程を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/135 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 N , B41J 3/04 103 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平4-279356
インクジエツトヘツド
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-241439 出願人：株式会社精工舎

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