特許
J-GLOBAL ID:200903037964269650
結晶成長容器および結晶成長方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-218709
公開番号(公開出願番号):特開2001-048692
出願日: 1999年08月02日
公開日(公表日): 2001年02月20日
要約:
【要約】【課題】 低コストで、冷却速度を低下させることなく、高品質な結晶を成長容器内の所望箇所から一方向に成長させること。【解決手段】 主容器の内部で結晶を成長させる結晶成長容器2において、結晶が成長し始める結晶成長開始部6を有し、結晶成長開始部6は、主容器4の材料よりも熱伝導率の高い材料によって形成されていることを特徴とする。
請求項(抜粋):
主容器の内部で結晶を成長させる結晶成長容器において、前記結晶が成長し始める結晶成長開始部を有し、前記結晶成長開始部は、前記主容器の材料よりも熱伝導率の高い材料によって形成されていることを特徴とする結晶成長容器。
IPC (3件):
C30B 11/00
, C30B 29/42
, F27D 1/00
FI (3件):
C30B 11/00 C
, C30B 29/42
, F27D 1/00 N
Fターム (10件):
4G077CD02
, 4G077EG02
, 4G077HA06
, 4G077HA12
, 4G077MA02
, 4G077MB04
, 4K051AA03
, 4K051AB05
, 4K051BE00
, 4K051DA11
引用特許:
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