特許

J-GLOBAL ID：200903037975858894

蛍光X線分析装置

発明者： 桑原 章二
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097744
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308060
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 試料をセットし直したりすることなく、試料の任意の微小箇所を分析できるようにする。【構成】 入力部12で試料の分析しようとする箇所を指定入力することにより、制御部13が、試料容器8を回転させるパルスモータ8および視野制限用絞り3の移動機構11を制御し、指定された分析箇所に、視野制限用絞り3が臨むように構成している。

請求項（抜粋）：

試料からの蛍光X線を、視野制限用絞りを介して一次ソーラスリットに通して平行ビームとして取り出す蛍光X線分析装置において、前記試料を所定の回転軸回りに任意の角度回転させる回転機構と、前記視野制限用絞りを、前記一次ソーラスリットの入射光軸に垂直な方向であって、かつ試料の回転中心を中心とした半径方向に沿って所定の範囲内で任意の距離移動させる移動機構と、前記試料の所望の分析箇所を指定入力する入力手段と、前記入力手段で入力された前記所望の分析箇所に、前記視野制限用絞りが臨むように、前記回転機構および前記移動機構を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする蛍光X線分析装置。