電子ビーム励起プラズマ発生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：関正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172855
公開番号（公開出願番号）：特開平11-007900
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】放電部から電子を引き出す開口部における損耗を防止し、開口部の物質が反応ガスプラズマに混入してプラズマプロセスに悪影響を及ぼすことを防止するようにした電子ビーム励起プラズマ発生装置を提供する。【解決手段】放電部7から電子ビームを引き出す引き出し隘路10を各電極と電気的に絶縁された金属板もしくは絶縁材、好ましくはアルミナあるいは窒化アルミまたは石英で形成する。また、放電部7の引き出し隘路10が中間電極2と放電陽極3を結ぶ方向に対して例えば90度など角度を持った方向に設けられていてもよい。

請求項（抜粋）：

カソードと中間電極と放電陽極と加速電極の順に配置され、中間電極と放電陽極の間に形成される放電部から引き出し隘路を介して電子を引き出し加速電極により加速して隘路の外にあるプロセス室中のガスをプラズマ化する電子ビーム励起プラズマ装置において、前記引き出し隘路が各電極と電気的に絶縁されていることを特徴とする電子ビーム励起プラズマ発生装置。

IPC (8件)：

H01J 27/20 , C23C 14/32 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01J 37/08 , H01L 21/203 , H01L 21/3065 , H05H 1/46

FI (8件)：

H01J 27/20 , C23C 14/32 Z , C23C 16/50 , C23F 4/00 A , H01J 37/08 , H01L 21/203 Z , H05H 1/46 A , H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (5件)

電子ビーム源
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-110983 出願人：理化学研究所
特開平2-168541
特開平2-216814

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