特許

J-GLOBAL ID：200903037982579640

静電チャック

発明者： 石井 守 ,  梅津 基宏 ,  石田 弘徳 ,  丹治 清一 ,  塚本 恵三
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-189745
公開番号（公開出願番号）：特開2000-012666
出願日： 1998年06月19日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】 高い静電吸着力を有し、吸着した被吸着体の汚染が少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 電極2と、その上に設けられた絶縁層3とを有し、電極2に電圧を印加することにより、絶縁層3上に被吸着体Wを静電吸着する静電チャックであり、絶縁層3は、酸素欠損を有するジルコニアを主体とし、絶縁層3の体積抵抗率が108〜1014Ωcmである。

請求項（抜粋）：

電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層は、結晶中に酸素欠損を有するジルコニアを主体とし、絶縁層の体積抵抗率が108〜1014Ωcmであることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

Fターム (3件)：

3C016GA10 ,  5F031FF03 ,  5F031LL07