特許

J-GLOBAL ID：200903037989984876

強度関係による空間波頭評価

発明者： エドワード・テー・シーバート
出願人/特許権者： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281048
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、収差を決定するために画像の測定を使用し、干渉装置に関連したハードウェアの必要性、並びに波長の一部分に対して光学整列を維持する安定性要求をなくすことを目的とする。【構成】 第1の平面P1 から第2の平面P2 に伝播する波頭の第1の平面における位相プロフィールを決定するために、第1の平面P1 における波頭の強度を提供し、第2の平面P2 における波頭の強度を測定し、第1の平面P1 における波頭の提供された強度および第2の平面P2 における波頭の測定された強度を使用する伝達関数にしたがって第1の平面P1 における波頭の位相プロフィールを決定するステップを含んでいることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

第1の平面から第2の平面に伝播する波頭の第1の平面における位相プロフィールを決定する方法において、第1の平面における波頭の強度を提供し、第2の平面における波頭の強度を測定し、第1の平面における波頭の提供された強度および第2の平面における波頭の測定された強度を使用する伝達関数にしたがって第1の平面における波頭の位相プロフィールを決定するステップを含んでいることを特徴とする波頭の位相プロフィール決定方法。