特許

J-GLOBAL ID：200903037990335288

内周刃スライシングマシン用砥石

発明者： 森本 俊之
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-149448
公開番号（公開出願番号）：特開平8-011061
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【目的】 大きな外径を有するウェハを、切断加工中における内周刃砥石の変形を強制的に抑制するための特別な装置を用いることなく、反りを許容範囲内に抑え、かつ高い歩留りで切断可能な内周刃砥石を提供する。【構成】 同心の内周および外周を有する環状の平板からなる台金(2)と、台金の外周を全周にわたって表裏両面から挟み、かつ台金に中心から外周方向へ向く張力を与えて固定する環状のテンションヘッド(4)と、台金(2)の内周にその外周にわたって形成された砥粒層を含む内周刃(3)とを備える。台金(2)の厚さはその外径の5000分の1以下であり、かつテンションヘッド(4)の内径に対する内周刃(3)の内径の比が0.25以上かつ0.33以下に設定されている。この構成により、作業性および切断ストロークを充分確保するとともに、切削抵抗に対する内周刃砥石の剛性が高められる。

請求項（抜粋）：

同心の内周および外周を有する環状の平板からなる台金と、前記台金の前記外周を全周にわたって表裏両面から挟み、かつ前記台金に中心から外周方向へ向く張力を持たせて固定する、環状のテンションヘッドと、前記台金の前記内周に、その全周にわたって形成された砥粒層を含む内周刃とを備え、前記台金の厚さが、その外径の5000分の1以下であり、さらに、前記テンションヘッドの内径に対する前記内周刃の内径の比が0.25以上かつ0.33以下である、内周刃スライシングマシン用砥石。