基板への粘着フィルム貼着装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉谷勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-350469
公開番号（公開出願番号）：特開平7-195527
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】基板の表面に、基板形状に対応した形状の粘着フィルムを高い位置合わせ精度で貼着することができる基板への粘着フィルム貼着装置を提供する。【構成】基板形状に対応した粘着テープが一定の間隔で貼り付けされた帯状ベーステープTが原反ロール10から供給される。テープTが揺動枠35にあるナイフエッジ状のプレートで折り返されることにより、粘着テープが剥離される。基板が載置されたテーブル6と、剥離された粘着テープとを同期して水平移動させることにより、基板上に粘着テープを貼り付ける。カメラ43,44によって粘着テープの位置ズレを予め計測する。X,Y方向の位置ズレはテーブル6で、角度ズレはアライナ2で、それぞれ修正する。

請求項（抜粋）：

ベーステープにその長手方向に所定間隔をもって一定形状の粘着フィルムを貼着したフィルム供給テープを移送するテープ移送手段と、フィルム供給テープを折り返し案内して前記粘着フィルムをテープ折り返し端においてベーステープより剥離させる手段と、基板を所定貼付け位置に移送する基板搬送手段と、基板とフィルム供給テープとを同調して移送することでテープ折り返し端から連続的に剥離される粘着フィルムを連続して基板表面に貼着してゆく手段とを備えた基板への粘着フィルム貼着装置において、先頭の粘着フィルムが一定位置に到達したことを検知してフィルム供給テープの移送を停止する粘着フィルム検出機構と、停止した粘着フィルムを撮影する撮像手段と、画像処理によって粘着フィルムのテープ移送方向でのズレ、テープ移送方向と直交する方向でのズレ、および、フィルム面内での粘着フィルムの角度ズレを演算計測するズレ検出手段と、このズレ検出結果に基づいて粘着フィルムとこれが貼着される基板との相対位置および相対角度を修正する補正手段と、を備えてあることを特徴とする基板への粘着フィルム貼着装置。

IPC (6件)：

B29C 65/52 , B29C 65/78 , C09J 5/00 JGT , H01L 21/301 , H05K 3/06 , B29L 31:34

引用特許：

出願人引用 (4件)

特公昭64-004904
特開平2-069924
特開平2-138670

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審査官引用 (5件)

特公昭64-004904
特公昭64-004904
特開平2-138670

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