気化器

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：永井冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-292758
公開番号（公開出願番号）：特開2002-105646
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：

【要約】【課題】液体材料の霧化をより効果的に行わせ、未気化残渣やパーティクルの発生を低減することができる気化器の提供。【解決手段】液体材料が流れる内側配管200aと霧化用ガスが流れる外側配管200bとで構成される2重管の先端にオリフィス部材212を設け、そのオリフィス部材212と内側配管200aとの隙間から霧化用ガスを噴出させる。その結果、液体材料の霧化をより効果的に行うことができ、未気化残渣の発生やパーティクルの発生を低減させることができる。

請求項（抜粋）：

液体有機金属若しくは有機金属溶液から成る液体材料とキャリアガスとを混合した気液混合材料を移送管路の先端部から噴霧する噴霧部と、噴霧された前記液体材料を気化する気化部とを備え、気化された前記液体材料をCVD成膜装置へと供給する気化器において、前記移送管路は、気液2相流で前記液体材料が移送される内側配管と、前記内側配管が隙間を介して内挿されるとともに霧化用ガスを移送する外側配管とから成る二重配管構造を有し、前記内側配管が隙間を介して貫挿される孔部が形成され、前記外側配管により移送された霧化用ガスを前記隙間から前記気化部へと噴出させるオリフィス部材を、前記内側配管の先端部に設けたことを特徴とする気化器。

IPC (2件)：

C23C 16/448 , H01L 21/205

FI (2件)：

C23C 16/448 , H01L 21/205

Fターム (12件)：

4K030AA11 , 4K030EA01 , 4K030KA46 , 5F045AA04 , 5F045AC07 , 5F045AC16 , 5F045BB15 , 5F045EE02 , 5F045EE04 , 5F045EE14 , 5F045GB04 , 5F045GB06

引用特許：

審査官引用 (6件)

CVD装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-238315 出願人：菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社, 三菱電機株式会社
化学気相成長装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-063014 出願人：三菱電機株式会社
液体運送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-351053 出願人：現代電子産業株式会社

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