特許
J-GLOBAL ID：200903038002567035
エッチング廃液クローズド系処理用電解槽
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-317245
公開番号（公開出願番号）：特開平6-158359
出願日： 1992年11月26日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 簡単な操作で、しかも低い運転コストで、エッチング廃液を処理するとともに、発生する塩素ガスを系外に放出することなく、安全に有効利用すべく、エッチング廃液を隔膜電解法で処理し、陰極室で銅を電析回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスをエッチング工程で使用している別のエッチング液に導き、当該液を再生するエッチング液再生方法を実施するに適した電解槽を提供する。【構成】 ガス流出口を有する陽極室と、原液流入口、循環陰極液流入口・流出口および析出金属引出口を有する陰極室と、当該陰極室と陽極室とを分離する隔膜と、陰極室に配置された陰極板に析出する金属を掻き取るための掻き取り手段とを備える電解槽。
請求項（抜粋）：
ガス流出口を有する陽極室と、原液流入口、循環陰極液流入口・流出口および析出金属引出口を有する陰極室と、当該陰極室と陽極室とを分離する隔膜と、陰極室に配置された陰極板に析出する金属を掻き取るための掻き取り手段とを備えることを特徴とするエッチング廃液クローズド系処理のための電解槽。
IPC (5件)：
C23F 1/46
, C25C 1/00
, C25C 1/12
, C25F 7/02
, H01L 21/306
