特許

J-GLOBAL ID：200903038002786977

環境制御型走査型電子顕微鏡

発明者： 古賀 康憲
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043247
公開番号（公開出願番号）：特開平10-241620
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】 微量の液体を高精度に制御して試料へ供給でき、長時間一定の湿度環境を保持できる、環境制御型走査型電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料室の壁又は扉から試料台7に到る細管2を通して微量の液体或いは気体を供給するための微量注入装置を設ける。細管2は、試料台7及び試料室の内壁に対し着脱可能に固定され、且つ試料台7の移動に追随できる柔軟性を備えている。試料台7には、供給された液体を吸収するための吸湿材12があり、液体は毛管現象によって試料の観察面に到達する。

請求項（抜粋）：

電子線源から射出された電子線の通路を形成する真空室と、前記真空室に圧力制限開口を挟んで連結され、ガス増幅を行う雰囲気としての気体が供給されると共に、試料及び試料台を収納する試料室と、前記電子線を前記圧力制限開口を通して、前記試料上に集束し走査する電子光学系と、前記試料から発生しガス増幅された2次電子を検出する2次電子検出器と、を有する環境制御型走査型電子顕微鏡において、前記試料室の壁又は扉から前記試料台に到る細管を通して微量の液体あるいは気体を供給するための微量注入装置を備えたことを特徴とする環境制御型走査型電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  G01N 1/28 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20

FI (4件)：

H01J 37/28 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 Z ,  G01N 1/28 W