特許
J-GLOBAL ID：200903038013332668
空間光変調器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-503446
公開番号（公開出願番号）：特表平8-512141
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】空間光変調器は、固定電極(12)に対向配置され、電界をあたえると所望方向に巻き込むように付勢される可動電極(30)で形成され、ライトバルブあるいはライトシャッターを生成する。一実施形態にあっては、可動電極は、一端で保持され、この固定端部の周りで所望巻込み方向に巻き上がる。可動電極に与えられる付勢は、異方性応力あるいは異方性硬化を生じさせることによって得られる。
請求項（抜粋）：
素子において、 a)固定電極、 b)前記固定電極上の第一の高抵抗層、 c)応力をともなって形成され、一端で貼り付けられ、前記素子に所望の電圧を加えることによって単一の軸の周りを前記固定電極に向かって回転移動可能であり、前記電圧の除去によって反対方向に回転可能な可動電極、を有し 前記応力が前記可動電極を付勢して前記反対方向へ動かすことを特徴とする素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 B
, G09F 9/37 A
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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