特許
J-GLOBAL ID：200903038014143613
表面歪みの検出及び判定方法並びに装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209253
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058743
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：
【要約】【目的】 鏡面試料の全表面の微細な凹凸を熟練検査員の直接の目視によらなくても容易に確認でき、またその凹凸の大きさ及び深さ又は高さも確認できるので、鏡面試料の良否の判定を正確に行なうことができる。【構成】 光源1からハーフミラー3及び集光レンズ4を介して鏡面試料5に光を照射する。テレビジョンカメラ8のカメラレンズ7の焦点位置を第1の位置P1と第2の位置P2に設定して鏡面試料5の表面を撮像する。第1の位置P1に設定したテレビジョンカメラ8は、鏡面試料5の非周辺部分にある凹凸を明るい光点として捕え、第2のテレビジョンカメラ8は鏡面試料5の周辺部分にある凹凸を周辺部分の画像の輪郭に凹み又は出っ張りとして捕える。
請求項（抜粋）：
光源からの光を集光レンズにより略平行な光にして鏡面試料面に照射し、該鏡面試料面を、カメラレンズの焦点位置が前記集光レンズと鏡面試料との間の第1の位置に設定されたテレビジョンカメラで撮像し、撮像した鏡面試料面の非周辺部分の画像の明部又は暗部から、該非周辺部分の表面の凹部又は凸部を検出し、該鏡面試料面を、カメラレンズの焦点位置が前記鏡面試料の非照射面側の第2の位置に設定されたテレビジョンカメラで撮像し、撮像した鏡面試料面の周辺部分の画像の輪郭からの凹み又は出っ張りより該周辺部分の表面の凹部又は凸部を検出し、前記鏡面試料全面の凹部又は凸部を同時又は順次に検出するようにしたことを特徴とする表面歪みの検出方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01B 11/16
, G01N 21/55
