特許

J-GLOBAL ID：200903038015056072

研磨材微粒化用撹拌機の撹拌羽根及び混合羽根

発明者： 古市 章 ,  平岡 祥一
出願人/特許権者： 特殊機化工業株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-185098
公開番号（公開出願番号）：特開2001-079379
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】 研磨材の粗い原料粒子から、半導体を研磨するための微粒の研磨材を撹拌機で作るとき、撹拌槽内で回転させる撹拌羽根及び混合羽根を、摩耗しても研磨材中に金属が混入しないものにする。【解決手段】 撹拌羽根1の全体を無垢の硬質合成樹脂で作り、円板部2の外周側に、羽根部3を両側に突出させて設け、羽根部3の回転方向の端面にエッジ3a,3b,3cを形成し、研磨材の粗い原料粒子を前記端面とエッジで叩いて微粒化する。研磨材との衝突や摩擦でエッジが丸く摩耗したら研磨してシャープにする。混合羽根23も無垢の硬質合成樹脂で作って金属汚染を避ける。

請求項（抜粋）：

円板部の中心に軸取付け部を設け、円板部の外周側に羽根部を設け、表面を電気絶縁性の高い合成樹脂で形成した、研磨材微粒化用撹拌機の撹拌羽根において、該撹拌羽根の全体を電気絶縁性と耐摩耗性の高い無垢の硬質合成樹脂で形成したことを特徴とする、研磨材微粒化用撹拌機の撹拌羽根。

IPC (2件)：

B01F 7/26 ,  B01F 7/16

FI (2件)：

B01F 7/26 Z ,  B01F 7/16 H

Fターム (7件)：

4G078AA09 ,  4G078BA05 ,  4G078BA07 ,  4G078DA23 ,  4G078DA26 ,  4G078DA28 ,  4G078DB08