特許
J-GLOBAL ID:200903038022640855
パターン形成用ペースト、ディスプレイ用部材、およびディスプレイ
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-281354
公開番号(公開出願番号):特開2001-109145
出願日: 1999年10月01日
公開日(公表日): 2001年04月20日
要約:
【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工が可能であり、焼成時の剥離のない感光性ペーストを提供する。【解決手段】50〜95重量%の無機微粒子と5〜50重量%の有機成分からなり、有機成分が、滑剤を含有することを特徴とするパターン形成用ペースト。
請求項(抜粋):
50〜95重量%の無機微粒子と5〜50重量%の有機成分からなり、有機成分が、滑剤を含有することを特徴とするパターン形成用ペースト。
IPC (3件):
G03F 7/004 511
, G03F 7/004 501
, H01J 11/02
FI (3件):
G03F 7/004 511
, G03F 7/004 501
, H01J 11/02 B
Fターム (21件):
2H025AA00
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC12
, 2H025BC31
, 2H025CC12
, 2H025CC20
, 5C040GF18
, 5C040GF19
, 5C040JA02
, 5C040JA15
, 5C040KA09
, 5C040KA16
, 5C040KA17
, 5C040KB03
, 5C040KB19
, 5C040MA23
, 5C040MA24
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