特許
J-GLOBAL ID：200903038029111408
循環ポンプ保護フィルタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140450
公開番号（公開出願番号）：特開平8-332314
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】 配管切り詰めなどの配管工事が不要で、スライスくず、石英破片などの粗粒子を、容易に目詰まりを生じさせずに捕集する保護フィルタを得る。【構成】 循環ポンプの薬液流入口9に装着される循環ポンプ保護フィルタ33であって、テーパ筒状のフィルタ本体34と、このフィルタ本体34の側面及び小径側の先端面に穿設される複数の濾過孔37と、フィルタ本体34の大径側の端部外周に形成され循環ポンプのフィッティング23内に挿入されるとともに、フィッティング23内に突出された段部31とフィッティング23内に挿入された薬液出口配管5の端部とに挟持されてフィルタ本体34を薬液流入口9に保持するフランジ部35とを具備する。
請求項（抜粋）：
循環ポンプの薬液流入口に装着される循環ポンプ保護フィルタであって、テーパ筒状のフィルタ本体と、該フィルタ本体の側面及び小径側の先端面に穿設される複数の濾過孔と、該フィルタ本体の大径側の端部外周に形成され循環ポンプのフィッティング内に挿入されるとともに、該フィッティング内に突出された段部と該フィッティング内に挿入された薬液出口配管の端部とに挟持されて該フィルタ本体を前記薬液流入口に保持するフランジ部とを具備したことを特徴とする循環ポンプ保護フィルタ。
IPC (2件)：
B01D 35/02
, H01L 21/304 341
B01D 35/02 B
, H01L 21/304 341 Z
