特許
J-GLOBAL ID:200903038032141377

検査方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 由充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-137798
公開番号(公開出願番号):特開平11-316841
出願日: 1998年04月30日
公開日(公表日): 1999年11月16日
要約:
【要約】【課題】 無地部分の高精度の検査を実施する。【解決手段】 モデル登録領域を示す投影像40Aおよび撮像領域を示す投影像40B〜40Eを用いて、撮像部1を所定位置に位置決めする。コントロール部2は、ティーチングモードにおいて、撮像領域内にパターンの存在しない無地部分が含まれる対象物4については、無地画像用の検査を実施するように決定するとともに、モデル登録領域内の濃度平均値,濃度偏差値を算出する。これら算出値は基準値として、決定された検査方法とともにコントロール部2内に登録される。検査時に、無地画像用の検査を実施する対象物が撮像されると、コントロール部2は、その画像上の投影像40Aに対応する画像領域内の濃度平均値および濃度偏差値を算出し、それぞれ登録された基準値と比較する。
請求項(抜粋):
所定広さの無地部分を具備すべき対象物を撮像し、得られた画像上で一様な濃度分布が得られるべき画像領域内について、濃淡度合いおよび濃度のばらつき度合いを計測した後、各計測値をそれぞれ所定の基準値と比較することにより、前記対象物の無地部分の良否を判定することを特徴とする検査方法。
IPC (4件):
G06T 7/00 ,  B41J 29/46 ,  G01N 21/89 ,  G06T 1/00
FI (4件):
G06F 15/62 400 ,  B41J 29/46 B ,  G01N 21/89 A ,  G06F 15/64 400 J

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