特許

J-GLOBAL ID：200903038035619952

容量型加速度センサ

発明者： 佐々木 修
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-287134
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140167
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】可動電極と固定電極との間に形成されるコンデンサの容量変化を利用して3次元方向の加速度が可動電極に加わった加速度を検出できる容量型加速度センサを提供する。【構成】基板面に垂直方向の加速度は、基板に平行な対向面をもつ可動電極と固定電極の対での相互距離の変化から検出し、基板面に平行方向の加速度は、基板に平行な対向面をもつ可動電極と固定電極の相互間対向面積の変化から、あるいは基板に垂直な対向面をもつ可動電極と固定電極の相互間の距離の変化から検出する。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面が絶縁性である基板上に固定された固定電極と、その基板上に可撓性の梁を介して支持された可動電極とが対向してなるコンデンサの容量値から可動電極にかかる加速度を検出するものにおいて、基板面に平行な対向面相互間の距離の変化により容量値の変化することによって基板面に垂直方向の加速度を検出できる固定電極および可動電極の対のほかに、基板面に平行な対向面相互間の対向面積の変化によって変化する容量値の比の変化から基板面平行方向の加速度を検出する、基板面に垂直な面に対称に配置された固定電極および可動電極の2対を互いに直交する基板面に平行な2方向に対してそれぞれ備えたことを特徴とする容量型加速度センサ。