特許

J-GLOBAL ID：200903038039070645

金属酸化物薄膜の製造方法

発明者： 堤 信夫 ,  坂田 勘治 ,  国武 豊喜
出願人/特許権者： 新技術事業団 ,  堤 信夫 ,  坂田 勘治
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-183836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005041
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】 薄膜に含まれるラジカル重合性モノマーを架橋重合させることにより、十分な自己支持性をもつ金属酸化物薄膜を得る。【構成】 フルオロカーボン鎖を有し、有機溶媒に対する親和性がない基と極性基とが分子の両端に付加された両親媒性化合物,金属アルコキサイド及びラジカル重合性モノマーを含有する展開液を非水溶媒で調製する。この展開液を基板表面に展開して前記ラジカル重合性モノマーを含有する両親媒性化合物の多層二分子膜を調製した後、ラジカル重合性モノマーを重合させて二次元的に架橋した超薄層ポリマーを含む複合薄膜を作製する。【効果】 ラジカル重合性モノマーから生成されたポリマーがバインダーとして働き、薄膜の自己支持性を向上させる。また、極微量の金属アルコキサイドを含む展開液からの薄膜製造も可能となるため、超薄層薄膜が得られる。

請求項（抜粋）：

フルオロカーボン鎖を有し、有機溶媒に対する親和性がない基と極性基とが分子の両端に付加された両親媒性化合物,金属アルコキサイド及びラジカル重合性モノマーを含有する展開液を非水溶媒で調製し、該展開液を基板表面に展開して前記ラジカル重合性モノマーを含有する両親媒性化合物の多層二分子膜を調製した後、前記ラジカル重合性モノマーを重合させて二次元的に架橋した超薄層ポリマーを含む複合薄膜を形成することを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。