特許

J-GLOBAL ID：200903038039516619

反射防止膜及びそれを用いた光学部材

発明者： 鈴木 雅隆
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-199525
公開番号（公開出願番号）：特開2002-014203
出願日： 2000年06月30日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】 光学部品に施される可視域(およそ波長400〜700nm)用の多層膜を用いた反射防止膜及びそれを用いた光学部材を得ること。【解決手段】 基板面上に該基板側から空気側へ膜種TiO2とSiO2の交互層をベースにした総層数14〜17層積層した多層膜より成ること。

請求項（抜粋）：

基板面上に該基板側から空気側へ膜種TiO2とSiO2の交互層をベースにした総層数14〜17層積層した多層膜より成ることを特徴とする反射防止膜。

IPC (5件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34

FI (5件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 N ,  C23C 14/34 N ,  G02B 1/10 A

Fターム (40件)：

2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009DD04 ,  4F100AA17D ,  4F100AA20C ,  4F100AA21B ,  4F100AG00 ,  4F100AT00A ,  4F100BA05 ,  4F100BA08 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100BA13 ,  4F100EH46B ,  4F100EH46C ,  4F100EH66B ,  4F100EH66C ,  4F100GB90 ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JM02D ,  4F100JN01 ,  4F100JN06 ,  4F100JN18B ,  4F100JN18C ,  4F100JN18D ,  4F100YY00 ,  4F100YY00B ,  4F100YY00C ,  4F100YY00D ,  4K029AA09 ,  4K029BA43 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA06 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05