特許
J-GLOBAL ID：200903038057640564
弾性表面波デバイスの特性調整方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267152
公開番号（公開出願番号）：特開平9-116366
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】エッチングの制御を簡単化し、調整の容易化を図ることを目的とする。【解決手段】圧電体WEの表面に導電材料膜からなる電極10を有した弾性表面波デバイス1において、電極10の上に、互いにエッチング特性の異なる第1の層51,52及び第2の層61,62からなる複層構造の調整用の膜50を設け、調整用の膜50の最上層のみを除去する選択エッチングを1回以上行って当該調整用の膜50の厚さを最適化する。
請求項（抜粋）：
圧電体の表面に導電材料膜からなる電極を有した弾性表面波デバイスにおいて、前記電極の上に、互いにエッチング特性の異なる第1及び第2の層からなる複層構造の調整用の膜を設け、前記調整用の膜の最上層のみを除去する選択エッチングを1回以上行って当該調整用の膜の厚さを最適化することを特徴とする弾性表面波デバイスの特性調整方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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