特許

J-GLOBAL ID：200903038071216503

基材表面への微細凹凸被膜の形成法

発明者： 伊藤 俊明 ,  古屋 孝一 ,  浅井 祥生
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247373
公開番号（公開出願番号）：特開平5-085773
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：

【要約】【目的】基材表面にきわめて微細かつ均一一様な凹凸を有する被膜を形成することにより、広範囲の材料に適用できる基材表面への微細凹凸被膜の形成法を提供する。【構成】基材表面に物理、化学的蒸着法により金属薄膜を形成したうえで、基板が軟化変形しない温度域内で加熱することにより、無数の金属質の微細凝集粒からなる膜に変成するようにしたことからなる。

請求項（抜粋）：

基材表面に物理、化学的蒸着法により金属薄膜を形成したうえで、基板が軟化変形しない温度域内で加熱することにより、無数の金属質の微細凝集粒からなる膜に変成するようにしたことを特徴とする基材表面への微細凹凸被膜の形成法。

IPC (4件)：

C03C 17/09 ,  C04B 41/88 ,  C23C 16/06 ,  C23C 16/56