特許

J-GLOBAL ID：200903038071609335

チップマップ生成方法およびその装置

発明者： 多田 重之 ,  大久保 毅
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098905
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294466
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】バッドマークが付されたチップを含むチップ配列から良品/不良品のチップマップを迅速かつ正確に生成することができる。【解決手段】パターン形成が行われた半導体基板上にチップ配列されたチップの良品/不良品のチップマップを生成するチップマップ生成装置において、チップ配列された各チップに対してパターンマッチング処理等の高速の第1パターン認識処理を行って良品チップと不良品チップと不明チップとに区分する第1処理部3aと、不明チップに対して二値化処理等の信頼度の高い第2パターン認識処理を行って良品チップと不良品チップとに確実に区分する第2処理部3bと、第1処理部3aおよび第2処理部3bによって区分された良品チップと不良品チップの半導体基板上の位置をもとに良品/不良品のチップマップを生成するチップマップ生成部5とを有する。

請求項（抜粋）：

パターン形成が行われた半導体基板上にチップ配列されたチップの良品/不良品のチップマップを生成するチップマップ生成方法において、前記チップ配列された各チップに対して第1パターン認識処理を行って良品チップと不良品チップと不明チップとに区分する第1処理工程と、前記不明チップに対して第2パターン認識処理を行って良品チップと不良品チップとに区分する第2処理工程と、前記第1処理工程および前記第2処理工程によって区分された良品チップと不良品チップの前記半導体基板上の位置をもとに良品/不良品のチップマップを生成する生成工程と、を含むことを特徴とするチップマップ生成方法。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/02 A ,  H01L 21/66 A

Fターム (21件)：

4M106AA01 ,  4M106DA14 ,  4M106DA15 ,  4M106DB01 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB14 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  4M106DJ32 ,  4M106DJ38