特許

J-GLOBAL ID：200903038077706936

電子線マイクロアナライザ

発明者： 野地 健俊
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-010535
公開番号（公開出願番号）：特開平9-204894
出願日： 1996年01月25日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【課題】 電子線マイクロアナライザのオートフォーカス制御において、試料の傾斜補正を行ってオートフォーカス制御に要する十分な光量が得られる。【解決手段】 少なくとも光軸方向の移動制御が可能な試料ステージ3と、試料ステージ3の光軸方向上に光学的焦点位置を有する光学顕微鏡とを備え、光学顕微鏡像に基づく試料ステージ3の移動によって焦点位置を制御するオートフォーカス制御手段(制御装置5)を備えた電子線マイクロアナライザにおいて、試料1を光軸9に対して傾斜可能とする傾斜機構2と、試料面を光軸9に対して垂直とするフィードバック制御を傾斜機構2にかける傾斜補正手段(制御装置5)とを備え、傾斜補正手段によって傾斜機構2をフィードバック制御して、試料面が光軸9に対して垂直となるよう制御を行う。これによって、オートフォーカス制御手段は、オートフォーカス制御を行うのに十分な光量を得て光学顕微鏡の焦点位置合わせを行うことができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも光軸方向の移動制御が可能な試料ステージと、前記試料ステージの光軸方向上に光学的焦点位置を有する光学顕微鏡とを備え、光学顕微鏡像に基づく試料ステージの移動によって焦点位置を制御するオートフォーカス制御手段を備えた電子線マイクロアナライザにおいて、前記試料を光軸に対して傾斜可能とする傾斜機構と、試料面を光軸に対して垂直とするフィードバック制御を傾斜機構にかける傾斜補正手段とを備えたことを特徴とする電子線マイクロアナライザ。

IPC (3件)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/252

FI (3件)：

H01J 37/21 Z ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/252 A