特許

J-GLOBAL ID：200903038079654569

測定顕微鏡

発明者： 富岡 正治
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-377197
公開番号（公開出願番号）：特開2002-182120
出願日： 2000年12月12日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】 特別な試料固定具を使用することなく被検物の横滑り現象の発生を抑え、測定の信頼性およびスループットの向上を図り、被検物全体の外形形状の測定を可能にする。【解決手段】 被検物Sを載置してその移動量を正確に読み取り且つ透過観察可能なステージ9と、ステージ9を挟み被検物Sの下方に配置され被検物Sを照明するための照明手段21、22、23、41と、被検物Sの上方に配置され1本以上の対物レンズ10と結像レンズ51とを有する観察手段10、50、60とを備えた測定顕微鏡において、ステージ9の被検物載置面を、透過照明光を透過させる高摩擦部材1で構成した。

請求項（抜粋）：

被検物を載置してその移動量を正確に読み取り且つ透過観察可能なステージと、該ステージを挟み被検物の下方に配置され被検物を照明するための照明手段と、被検物の上方に配置され1本以上の対物レンズと結像レンズとを有する観察手段とを備えた測定顕微鏡において、前記ステージの被検物載置面を、透過照明光を透過させる高摩擦部材で構成したことを特徴とする測定顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/26 ,  G01B 9/04 ,  G12B 5/00

FI (3件)：

G02B 21/26 ,  G01B 9/04 ,  G12B 5/00 T

Fターム (17件)：

2F064MM02 ,  2F064MM14 ,  2F064MM24 ,  2F064MM26 ,  2F064MM32 ,  2F078CA06 ,  2F078CA08 ,  2F078CB01 ,  2F078CB03 ,  2F078CB09 ,  2F078CC03 ,  2F078CC19 ,  2H052AC05 ,  2H052AD13 ,  2H052AD14 ,  2H052AD16 ,  2H052AF03